第91章 再现工程控制论!(第1/2 页)
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同时极紫外光刻机的光路系统要求考虑的因素非常多,因为极紫外光刻机的光子能量非常高,几乎所有的材料都会吸收极紫外光。
而吸收了极紫外光必然会发热,发热就会带来材料的变形。对于需要纳米级成像的光刻机来说,简直就是灾难,基本就无法使用了。
如果不加控制,光路系统还有被烧毁的风险。
所以极紫外光刻机里,光源和每一面镜子的背后都有非常高效的冷却装置,把极紫外光照射产生的热量及时带走。
最后,光刻机研发真正困难的是成像质量补偿。光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的,但设备的生产是不可能做到完美的,镜头使用的材料不可能做到完美。
镜头打磨不可能做到完美,镜头组装也不可能做到完美。同时镜头材料和支撑材料都必然存在热胀冷缩的问题。
这些问题都会给最终成
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